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6寸高溫探針臺T-150H
用于1~6寸晶圓,批次小器件,單個芯片或MEMS等器件電學性能測試。
應用場景:I/V曲線測試,C/V測試,射頻S參數(shù)測試等;
儀器搭配:數(shù)字源表、半導體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡分析儀等。
特點優(yōu)勢:高溫驗證,溫度從常溫~200℃/300℃/400℃/500℃。
高清解析,微觀放大倍率20X~50X/100X/200X/500X/1000X可選
用于實驗室芯片驗證,失效分析,產(chǎn)線射頻芯片S參數(shù)測試等。
     
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