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6寸探針臺(tái)T-150
用于1~6寸晶圓，批次小器件，單個(gè)芯片或MEMS等器件電學(xué)性能測試。
應(yīng)用場景：I/V曲線測試，C/V測試，射頻S參數(shù)測試等；
儀器搭配：數(shù)字源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡(luò)分析儀等。
特點(diǎn)優(yōu)勢：精細(xì)實(shí)用，性價(jià)比高。
用于實(shí)驗(yàn)室芯片驗(yàn)證，失效分析，產(chǎn)線射頻芯片S參數(shù)測試等。
 
     
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